仪器设备

磁控溅射镀膜设备

配 备 直 流 、 中 频 、 射 频 三 种 电 源 。 沉 积 室 的 极 限 真 空 度 可 达 1 0 - 6 p a 。 基 板 温 度 在 室 温 到 8 0 0 ℃ 的 范 围 内 可 调 。

等离子体增强化学气相沉积设备

采 用 射频 起 辉 ， 并 配 备 中 频偏压 电 源 。 设 备 沉 积 室 的 极 限 真 空 度 可 达 1 0 - 6 p a 。 基 板 温 度 在 室 温 到 8 0 0 ℃ 的 范 围 内 可 调 。

涂层测试设备

参考中科院海洋重点实验室测试平台 及 所内公共测试平台